ООО «Полифер» на протяжении почти двух десятков лет успешно участвует в кооперации с предприятиями АО «Концерн ВКО «Алмаз-Антей», АО «КТРВ», АО “Концерн Моринсис-Агат”, АО «КРЭТ», АО «Швабе», АО «Росэлектроника» и ФТИ им. Иоффе по изготовлению микроплат для СВЧ-приборов по тонкопленочной технологии. Рекламаций и замечаний по качеству поставленной продукции не было.


Производственная база предприятия осуществляет полный цикл изготовления микрополосковых плат на диэлектрических подложках с использованием следующих технологических процессов:

  1. Тонкопленочная технология

    Имеется возможность производства эмульсионных, хромовых и железноокисных фотошаблонов на стекле размером 102*102*2,4 мм с максимальным размером рабочего поля 60*60 мм. Срок изготовления — 6-7 рабочих дней.
    Адгезионные слои: V, Cr. Резистивные слои: Ti, Ta (удельное сопротивление от 10 до 200 Ом/кв), сплавы РС- (300 – 50000 Ом/кв.). Проводящий слой Cu (до 8мкм). Защитный слой: SiO2 (до 1,2 мкм).
  2. Вакуумное магнетронное напыление тонких пленок.
    Адгезионные слои: V, Cr. Резистивные слои: Ti, Ta (удельное сопротивление от 10 до 200 Ом/кв), сплавы РС- (300 – 50000 Ом/кв.). Проводящий слой Cu (до 8мкм). Защитный слой: SiO2 (до 1,2 мкм).
  3. Прецизионная фотолитография с получением минимальной ширины проводникового слоя 10 мкм.
  4. Нанесение гальванических покрытий (Cu, Ni, Ag, Au, Sn-Bi).
  5. Лазерная подгонка резисторов с точностью до 0,1%
  6. Лазерная фрезеровка и сверление.
  7. Дисковая резка.

Применяемые подложки  
Материалы: ВК-100-1 («поликор»)
ВК-96,
ВК-94-1 (марка 22ХС),
В100,
В40,
Т150,
Т1000,
AlN (нитрид алюминия) теплопроводностью от 170 до 220 Вт/(м·К)
сапфир,
ситалл СТ38, СТ50,
кварцевое стекло,
ферриты,
полиимидная пленка ПМ-А
Максимальные габариты: до 60*48 мм | сапфир диаметром 76 мм
Толщина: поликор (от 0,15 до 2,0 мм)
ситалл (от 0,5 до 1,0 мм)
В40 (от 0,12 мм)
полиимидная пленка (от 30 мкм)