ООО «Полифер» на протяжении почти двух десятков лет успешно участвует в кооперации с предприятиями АО «Концерн ВКО «Алмаз-Антей», АО «КТРВ», АО “Концерн Моринсис-Агат”, АО «КРЭТ», АО «Швабе», АО «Росэлектроника» и ФТИ им. Иоффе по изготовлению микроплат для СВЧ-приборов по тонкопленочной технологии. Рекламаций и замечаний по качеству поставленной продукции не было.
Производственная база предприятия осуществляет полный цикл изготовления микрополосковых плат на диэлектрических подложках с использованием следующих технологических процессов:
-
Тонкопленочная технология
Имеется возможность производства эмульсионных, хромовых и железноокисных фотошаблонов на стекле размером 102*102*2,4 мм с максимальным размером рабочего поля 60*60 мм. Срок изготовления — 6-7 рабочих дней.Адгезионные слои: V, Cr. Резистивные слои: Ti, Ta (удельное сопротивление от 10 до 200 Ом/кв), сплавы РС- (300 – 50000 Ом/кв.). Проводящий слой Cu (до 8мкм). Защитный слой: SiO2 (до 1,2 мкм). - Вакуумное магнетронное напыление тонких пленок.Адгезионные слои: V, Cr. Резистивные слои: Ti, Ta (удельное сопротивление от 10 до 200 Ом/кв), сплавы РС- (300 – 50000 Ом/кв.). Проводящий слой Cu (до 8мкм). Защитный слой: SiO2 (до 1,2 мкм).
- Прецизионная фотолитография с получением минимальной ширины проводникового слоя 10 мкм.
- Нанесение гальванических покрытий (Cu, Ni, Ag, Au, Sn-Bi).
- Лазерная подгонка резисторов с точностью до 0,1%
- Лазерная фрезеровка и сверление.
- Дисковая резка.
Применяемые подложки | |
---|---|
Материалы: | ВК-100-1 («поликор») ВК-96, ВК-94-1 (марка 22ХС), В100, В40, Т150, Т1000, AlN (нитрид алюминия) теплопроводностью от 170 до 220 Вт/(м·К) сапфир, ситалл СТ38, СТ50, кварцевое стекло, ферриты, полиимидная пленка ПМ-А |
Максимальные габариты: | до 60*48 мм | сапфир диаметром 76 мм |
Толщина: | поликор (от 0,15 до 2,0 мм) ситалл (от 0,5 до 1,0 мм) В40 (от 0,12 мм) полиимидная пленка (от 30 мкм) |